山本鍍金-網狀滾筒
山本鍍金-網狀滾筒
YAMAMOTO-MS（山本鍍金）是日本老牌精密電鍍實驗設備制造商，1950 年創立，主打小型精密電鍍實驗裝置，覆蓋從燒杯級到中試級的研發與品質驗證需求，在半導體、精密電子、貴金屬電鍍領域認可度高山本鍍金試験器。
一、核心產品線（實驗室主流機型）
1. 智能燒杯電鍍槽 A-56 系列
型號：A-56-0500W/G（500mL）、A-56-1000W/G（1000mL）
材質：W = 亞克力（常規酸堿）；G = 高硼硅玻璃（耐高溫、兼容離子液體）
核心結構：
PEEK 絕緣夾具：30 秒快速換樣，單面 / 雙面電鍍可選
可調陽極架：鈦網 / 鉑網 / 磷銅陽極，間距可調
恒液面溢流：蒸發不影響面積，數據重復性強
溫控：標配磁力攪拌（RT~95℃）；選配 YTC 精密溫控（±0.5℃）
電源：適配 YPP 直流 / 脈沖電源（0.01A 起），適合微凸點 / 超薄鍍層
2. 晶圓雙面旋轉電鍍槽 A-52-ST 系列（半導體專用）
型號：ST2/ST4/ST6/ST8/ST12（適配 2–12 英寸晶圓）
用途：TSV 填孔、UBM 凸點、RDL 布線、MEMS / 功率芯片小試
核心設計：
雙面同步電鍍：上下雙陽極，晶圓正反面同時沉積
雙重對流：中心槳葉攪拌 + 晶圓 0–80rpm 旋轉，強化微孔鍍液交換
穩壓溢流：槽底進液、外圈回流，減少空洞與膜厚不均
規格（部分）：
ST4：4 英寸，4L，300W 石英加熱器
ST8：8 英寸，12L，500W 防爆石英加熱
3. 赫爾槽 / 哈林槽測試裝置（工藝診斷）
B-52W-YTC300 赫爾槽套裝：
含 B-53W 控溫赫爾槽 + B-55 平行槽，6 種陽極 + 3 種陰極
YTC-300 溫控：0–100℃，300W，過熱 / 干燒 / 漏電保護
B-77WJ 哈林槽（均鍍能力測試）：
雙陰極 + 中置可移動陽極，量化鍍液分散能力
可選彎曲陰極，評估深孔 / 凹槽覆蓋能力
4. 高速旋轉測試儀 A-45W（模擬量產工況）
用途：模擬高速滾鍍、噴淋電鍍、晶圓旋轉電鍍的液流與電流密度梯度
核心：Φ8×100mm 圓棒陰極，0–1500rpm 無級調速，單試片替代多組靜態試驗
規格：5L 亞克力槽，325×305×730mm，13.5kg
二、核心技術優勢
精密控溫與穩定流場：標配 / 選配 YTC 系列溫控（±0.5℃），溢流設計保證液面穩定，數據可復現。
材質耐腐蝕性強：玻璃 / 亞克力 / PEEK/PFA 材質，兼容強腐蝕鍍液與離子液體。
模塊化設計：夾具、陽極、溫控、電源可快速替換，適配鍍金、鍍銀、鍍銅、鎳、錫等多種工藝。
貼近量產工況：旋轉 / 攪拌 / 溢流設計，解決靜態設備無法模擬高流速、高深寬比填孔的痛點。
三、典型應用場景
半導體：晶圓 TSV/UBM/RDL 電鍍、微凸點工藝研發
精密電子：接插件鍍金 / 鍍銀、PCB 通孔鍍銅、端子鍍錫
材料研發：鍍液配方篩選、添加劑評估、雜質影響分析
品質管控：鍍層均勻性、覆蓋能力、耐腐蝕性驗證
四、選型建議
通用研發 / 小試：選A-56系列（500mL/1000mL），性價比高
半導體晶圓：選A-52-ST系列（按晶圓尺寸）
鍍液性能診斷：選B-52W（赫爾槽）或B-77WJ（哈林槽）
高速工況模擬：選A-45W旋轉測試儀
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