山本鍍金-氯化鎳沖擊分析儀
山本鍍金-氯化鎳沖擊分析儀
YAMAMOTO-MS（山本鍍金）是日本老牌精密電鍍實驗設備制造商，1950 年創立，主打小型精密電鍍實驗裝置，覆蓋從燒杯級到中試級的研發與品質驗證需求，在半導體、精密電子、貴金屬電鍍領域認可度高山本鍍金試験器。

一、核心產品線（實驗室主流機型）

1. 智能燒杯電鍍槽 A-56 系列

• 型號：A-56-0500W/G（500mL）、A-56-1000W/G（1000mL）

• 材質：W = 亞克力（常規酸堿）；G = 高硼硅玻璃（耐高溫、兼容離子液體）

• 核心結構：

• PEEK 絕緣夾具：30 秒快速換樣，單面 / 雙面電鍍可選

• 可調陽極架：鈦網 / 鉑網 / 磷銅陽極，間距可調

• 恒液面溢流：蒸發不影響面積，數據重復性強

• 溫控：標配磁力攪拌（RT~95℃）；選配 YTC 精密溫控（±0.5℃）

• 電源：適配 YPP 直流 / 脈沖電源（0.01A 起），適合微凸點 / 超薄鍍層

2. 晶圓雙面旋轉電鍍槽 A-52-ST 系列（半導體專用）

• 型號：ST2/ST4/ST6/ST8/ST12（適配 2–12 英寸晶圓）

• 用途：TSV 填孔、UBM 凸點、RDL 布線、MEMS / 功率芯片小試

• 核心設計：

• 雙面同步電鍍：上下雙陽極，晶圓正反面同時沉積

• 雙重對流：中心槳葉攪拌 + 晶圓 0–80rpm 旋轉，強化微孔鍍液交換

• 穩壓溢流：槽底進液、外圈回流，減少空洞與膜厚不均

• 規格（部分）：

• ST4：4 英寸，4L，300W 石英加熱器

• ST8：8 英寸，12L，500W 防爆石英加熱

3. 赫爾槽 / 哈林槽測試裝置（工藝診斷）

• B-52W-YTC300 赫爾槽套裝：

• 含 B-53W 控溫赫爾槽 + B-55 平行槽，6 種陽極 + 3 種陰極

• YTC-300 溫控：0–100℃，300W，過熱 / 干燒 / 漏電保護

• B-77WJ 哈林槽（均鍍能力測試）：

• 雙陰極 + 中置可移動陽極，量化鍍液分散能力

• 可選彎曲陰極，評估深孔 / 凹槽覆蓋能力

4. 高速旋轉測試儀 A-45W（模擬量產工況）

• 用途：模擬高速滾鍍、噴淋電鍍、晶圓旋轉電鍍的液流與電流密度梯度

• 核心：Φ8×100mm 圓棒陰極，0–1500rpm 無級調速，單試片替代多組靜態試驗

• 規格：5L 亞克力槽，325×305×730mm，13.5kg

二、核心技術優勢

1. 精密控溫與穩定流場：標配 / 選配 YTC 系列溫控（±0.5℃），溢流設計保證液面穩定，數據可復現。

2. 材質耐腐蝕性強：玻璃 / 亞克力 / PEEK/PFA 材質，兼容強腐蝕鍍液與離子液體。

3. 模塊化設計：夾具、陽極、溫控、電源可快速替換，適配鍍金、鍍銀、鍍銅、鎳、錫等多種工藝。

4. 貼近量產工況：旋轉 / 攪拌 / 溢流設計，解決靜態設備無法模擬高流速、高深寬比填孔的痛點。

三、典型應用場景

• 半導體：晶圓 TSV/UBM/RDL 電鍍、微凸點工藝研發

• 精密電子：接插件鍍金 / 鍍銀、PCB 通孔鍍銅、端子鍍錫

• 材料研發：鍍液配方篩選、添加劑評估、雜質影響分析

• 品質管控：鍍層均勻性、覆蓋能力、耐腐蝕性驗證

四、選型建議

• 通用研發 / 小試：選A-56系列（500mL/1000mL），性價比高

• 半導體晶圓：選A-52-ST系列（按晶圓尺寸）

• 鍍液性能診斷：選B-52W（赫爾槽）或B-77WJ（哈林槽）

• 高速工況模擬：選A-45W旋轉測試儀