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        深圳秋山工業設備有限公司
                                                                        
        
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        當前位置：深圳秋山工業設備有限公司>>振蕩設備>>微波隔離器>> 3E TUNER日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器
        
					
        
				
        
			
        
		
        
		
        
			
        
				
        
					
        日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器 
        
					
        

																														
						  

						  
					
        
                                
					                        
						
        
                        
        
                            						        
        
							    
							    								    
        參   考   價:
									    										    											    ￥ 5652
										    									    								    
        
								    									    
        訂  貨  量: 										    											    											    												    ≥1 件
										    									    
        
								    							    								
        具體成交價以合同協議為準
        
						    
        
                            						    
							    
        
								    
        
									    
        產品型號3E TUNER
        
									    
        品       牌其他品牌
        
		                                
        廠商性質經銷商
        
		                                									    
        所  在  地深圳市
        
								    
        
								    
                                    
        
                                                                             
        
								    
        
									    
        
										    更新時間：2025-11-29 15:25:08瀏覽次數：206次
									    
        
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				                        1-1萬
				                        				                    				                    				                        應用領域
				                        化工,綜合
				                        				                    
        
				                    				                    				                
        
				            
        
				            
        
				            日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器
        專為半導體成膜、刻蝕、熱處理、離子注入等微波等離子體裝置設計
        在負載變動時高速匹配，降低反射功率，提升整機效率
        
				        
				        
        
				            
        日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器
        日本nikoha等離子體3E微波自動阻抗匹配器
        • 2450 MHz 自然空冷型自動匹配調諧器
        • 專為半導體成膜、刻蝕、熱處理、離子注入等微波等離子體裝置設計
        • 在負載變動時高速匹配，降低反射功率，提升整機效率
        二、核心特點

        特點說明
        高功率自然空冷5 kW 滿載運行無需水冷，節省配管與維護
        寬帶覆蓋2400 – 2500 MHz 全波段兼容，中心 2450 MHz
        小型輕量化長度 220 mm，重量 4 kg，可直接安裝在現有波導段
        寬范圍匹配VSWR 1 – 10（全相位）≤2 s 拉至 ≤1.2
        低功率也響應幾十瓦起即可開始調諧，適合工藝啟輝階段
        控制一體化控制電路內置，無需外置控制器；附 PC 專用軟件，可遠程設定、監控、位置記憶
        長壽命設計調諧機構 + 高功率器件降額使用，MTBF > 20 000 h
        三、系統連接示例
        微波振蕩器 → 環行器 → 定向耦合器 → 3E TUNER → 波導 → 等離子體腔
        • 定向耦合器提供 Pf / Pr 檢波電壓 → TUNER 實時計算 → 3 軸可動短路器自動移動 → 反射低
        四、典型應用
        • CVD 金剛石、石墨烯成膜設備
        • ECR/ICP 刻蝕、去膠機
        • 離子注入、表面改性
        • 微波灰化、廢氣處理
        • 無線電力傳輸實驗系統

        
				        
        
                                                                                        				    
        
				
        
			
        
		
        

       
        

		

        

		



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

        
	
        
		
        
			
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